檢測需求：

潔凈室需要控制污染物水平。準確、可靠和低維護成本的潔凈室氣態(tài)分?污染物AMC控制可以顯著的提升產(chǎn)能。

可靠的監(jiān)測：

高靈敏度的DKG ONE-CF₄可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長期高穩(wěn)定性。

超靈敏光學(xué)懸臂梁麥克風(fēng)

技術(shù)應(yīng)用：

DKG ONE-CF₄分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量?級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF₄的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了?夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF₄溢出，同時保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準的周期長達幾個?甚?幾年，大大減低了總體持有成本。

優(yōu)勢：

準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

快速的響應(yīng)時間，以捕捉濃度突然上升

獨立運行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

無耗材或者化學(xué)試劑

短光程，單點校準也可達到突出的動態(tài)量程

直接吸收測量，無漂移

校準間隔長（可達數(shù)年）

高選擇性，不受乙醛和其他VOC的?擾

特點：

高選擇性的監(jiān)測痕量水平的CF₄

檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

響應(yīng)時間可設(shè)置，從3秒到3分鐘

動態(tài)范圍寬，運行穩(wěn)定

無耗材

低樣品量

內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

重新校準間隔長（幾個月）

直觀的用戶界面

內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

可通過局域網(wǎng)遠程操作

機箱選項：

實時在線分析

DKG ONE-CF₄為用戶提供簡潔直觀的用戶界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個旋轉(zhuǎn)按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預(yù)見泄漏區(qū)域的檢測。

移動式整合方案

幾個DKG ONE-CF₄單元可以整合在同一個監(jiān)測系統(tǒng)。

技術(shù)原理

工作原理：紅外光聲光譜

超靈敏光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機懸臂傳感器，結(jié)合激光干涉儀測量懸臂梁的微觀運動

光源：分布式反饋量子級聯(lián)激光

樣品池溫度穩(wěn)定于50℃

檢測參數(shù)

響應(yīng)時間：根據(jù)通道積分時間(C.I.T.)和氣體 置換周期，典型從3秒到3分鐘

檢測限：0.1ppb

動態(tài)量程：典型5級(100,000倍檢測限)

重復(fù)性：小于1%的測量值，在工作條件標準濃 度下

準確度：取決于校準濃度標準氣體的精度，典型2～5 %

溫度穩(wěn)定性：在溫度工作范圍內(nèi)無影響

壓力穩(wěn)定性：在壓力工作范圍內(nèi)無影響

通用

19"3 U工業(yè)機箱，適用于全部臺式或機架固定安裝

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：約13kg

內(nèi)置7"前置顯示器的嵌入式計算機

數(shù)據(jù)存儲容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測

總采氣量：10～30ml

后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過濾器

供電：

輸入電壓：100～240VAC，50～60 Hz

輸入功率：100～200 W（根據(jù)具體要求而定）

通訊接口：Ethernet、USB

DKG ONE-CF₄可以通過智能手機，平板，電腦或者另一臺DKG ONE-CF₄（即將推出)遠程控制

環(huán)境

運行條件

溫度范圍：0℃～+49℃

濕度：無凝露

壓力：750mbar～1050 mbar

防塵/水等級：IP20(IEC 529)

儲存條件

溫度范圍：-20℃～+60℃

樣品氣體條件

溫度范圍：0℃～+49℃

濕度：無凝露，溫度達35°C時最大相對濕度80%，

溫度達49°C時線性下降至35%

壓力：750 mbar～1050 mbar

氣流：約1L/min

顆粒物<1μm

標準：

符合低電壓指令2014/35/EU，EMC指令2004/108/EC和ROHS 2指令2011/65/EU